2021年全球工业气体竞争格局

电子气体主要用于电子领域的生产过程中，要求极高的纯度和质量标准。电子气体包括电子大宗气体和电子特种气体，是指在电子工业中应用的高纯度气体，主要用于集成电路、LED、显示面板、光伏等电子领域的生产过程中，其中集成电路制造涉及上千道工序，工艺极其复杂，需使用上百种电子特种气体。电子大宗气体包括氮气、氩气、氧气、氢气等，是气体保护、热处理、清洗等方面的重要材料，电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。电子气体和普通工业气体相比，要求更高的纯度。因此，电子气体的制备和供应需要采用极为严格的工艺和控制标准，以确保其符合严格的质量要求。