气体行业产业链

（1）电子气体是晶圆制造过程中占比第二大的半导体耗材，也被称为晶圆的“血液”。根据SEMI的数据，2020年全球晶圆制造材料中，电子气体占比约为13%，是占比仅次于硅片的半导体材料。广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是最重要原材料之一；狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体，依据《战略性新兴产业分类（2018）》在电子专用材料制造的重点产品分类，将电子气体分为了电子特种气体和电子大宗气体。

（2）电子特气是贯穿晶圆制造工艺流程的关键耗材，其中在刻蚀和掺杂中使用占比较高。细分至晶圆制造的整套工艺生产过程中，使用到的电子特种气体涉及上百种，核心工段