2021年全球静电卡盘市场格局（销售额口径）

此外，2021年国内静电卡盘市场也主要由上述的美、日厂商垄断，其中前三大厂商销售份额占比超过93.52%，高于全球CR3，垄断程度更高。

据拓荆科技招股说明书，2019年至2021年Q1- Q3静电卡盘所属的机械类零部件占拓荆科技核心原材料采购额比重维持在25%以上，且一直处于所有零部件大类采购额比重的第一位。据珂玛科技公告，静电卡盘占刻蚀机原材料采购成本的12.7%。

但目前我国静电卡盘的自主水平及国产化率，与其它半导体零部件、关键原材料的处境一致，用低情商的说法是容易被卡脖子，高情商的说法就是可替代空间大。

今年5月23日，日本经济产业省正式公布了《外汇法》法令修正案，将先进芯片制造所需的23个品类的半导体设备列入出口管理的管制对象，其中包括具有20个以上温控区静电卡盘的各向异性刻蚀设备。

似曾相识的一幕曾经也在三星身上上演，2019年日本宣布限制对韩国出口光刻胶、氟化聚酰亚胺和氟化氢三种关键的半导体材料，铁锤刚砸下三天，三星掌门李在镕如坐针毡，专程赶赴日本恳求松口。

针对潜在的静电卡盘断供风险，目前已有多家国内制造商展开了静电卡盘的相关布局，并已取得了许多实质性的进展。比如已实现小规模量产的华卓精科和取得突破性进展的中瓷电子。