2013-2020 中国大陆 CMP 市场空间变化（单位：亿美元）

资料来源：华海清科公司公告、天风证券研究所资料来源：《化学机械抛光技术发展及其应用》李思等、天风证券研究所

中国是全球CMP设备最大市场，国产替代空间广阔。2020年中国大陆占全球CMP设备市场份额的27%，市场空间达4.3亿美元。然而中国大陆乃至全球CMP设备市场却被应用

材料与荏原机械所垄断，其中应用材料2019年全球CMP设备占比达70%，日本荏原机械占比达25%。高度的进口依赖的背后存在着广阔的国产替代空间。

图6：2020年全球CMP设备市场区域结构图7：2013-2020中国大陆CMP市场空间变化（单位：亿美元）

资料来源：Semi、华海清科公司公告、天风证券研究所资料来源：Semi、华海清科公司公告、天风证券研究所

图8：2019年全球CMP设备市场竞争格局

资料来源：Semi、前瞻产业研究院、天风证券研究所

1.2.制程&工艺不断进步，CMP设备需求不断上升

制程&工艺进步增加CMP次数，或为CMP设备提供增量空间。集成电路按制造工艺及应用领域主要分为逻辑芯片、3DNAND闪存芯片、DRAM内存芯片，上述三种芯片虽然在结构及制造工艺上有明显的区别，但无论哪种芯片的制造，都要求每层制造表面必须保

持纳米级全局平坦化，因此CMP都是其中必不可少的工序之一。随着器件特征尺寸的缩小，需要更多的生产工序，其中90nm以下的制程生产工艺均在400个工序以上。