全球半导体阀门市场规模

半导体阀门是气体/液体/真空系统的核心原件，起到开关、控制流量、调节压力等作用。半导体阀门品类众多，包括隔离阀、控制阀、传输阀、计量阀、隔膜阀等等。晶圆制造过程对气体、液体、真空环境有精密的控制要求，这意味着阀门也需要具备相应的洁净度、耐腐蚀性、控制精度。这一套技术标准也提高了行业的准入门槛。

根据QYR Research数据，2022年全球半导体阀门和管接头市场规模约33.4亿美元，预计到2029年这一数值将增长到45.1亿美元，2023~2029年CAGR约4.2%。目前在全球半导体阀门市场中，海外龙头VAT、MKS、Paker等占据主要份额。瑞士VAT是全球高性能真空阀龙头，其真空阀产品面向半导体、面板、光伏、工业等领域。根据VAT统计的数据，2022年其在全球真空阀市占率超过50%。

中国大陆企业阀门主要面向食品、医疗等领域，在半导体阀门领域处于起步阶段。新莱应材是中国大陆半导体阀门龙头，也是国内少数通过AMAT、Lam认证的半导体设备零部件供应商。新莱应材的高纯、超高纯产品正在和长鑫存储、长江存储、北方华创等国内一线厂商展开合作，国产替代进度有望加速推进。