2021 年全球热处理设备市场格局

根据Gartner统计数据，2020年全球热处理设备市场规模合计15.4亿美元。2020年快速热处理设备市场规模为7.2亿美元，占比47%；氧化/扩散设备市场规模约5.5亿美元，占比36%；栅极堆叠（Gate Stack）设备市场规模为2.7亿美元占比17%。

美日设备全球市占率高，华创、屹唐股份实现突破。热工艺巨头基本为国外的公司，2021年应用材料、东京电子、科意半导体市占率分别为45%、19%、19%，国内公司屹唐股份市占率5%、北方华创市占率约为1%，国产化率仍处于较低水平。在8英寸集成电路领域，卧式扩散炉能够满足需求，且由于其技术较成熟，国内扩散设备能够自给自足，国内主要设备厂商有北方华创、屹唐半导体。在12英寸集成电路领域，需要立式扩散炉和快速热处理设备，技术难度较大，立式炉主要设备厂商为东京电子、日立国际，快速热处理设备主要设备厂商为应用材料、亚舍利、先晶半导体。

国内热处理设备龙头，性能优异成为客户主流机台。在立式炉装备方面，公司研发的中温氧化/退火炉、高温氧化/退火炉、低温合金炉，低压化学气相沉积炉、批式原子层沉积炉均已成为国内主流客户的量产设备，并持续获得重复订单，截至2022年末累计出货超过500台，凭借优异的量产稳定性获逻辑、存储、功率、封装、衬底材料等领域主流客户的认可。