2020 年中国半导体检测和量测设备市场竞争格局

19.5%

2.9%

科磊半导体（KLA，美国）应用材料（AMAT，美国）日立（Hitachi，日本）

雷泰光电（Lasertec，日本）

4.3%

54.8%

7.1%

9.0%

ASML（荷兰）

康特科技（Camtek，以色列）

迪恩士（日本）

其他

图34.2020年中国半导体检测和量测设备市场竞争格局

资料来源：VLSIResearch，QYResearch，安信证券研究中心

市场占比 中科飞测 上海精测 睿励仪器 东方晶源 上海微电子

TAM： 62.6% - - - -

SAM： 27.2% 51.5% 20.0% 13.9% 6.3%

纳米图形晶圆缺陷检测设备 24.7% △ ★

掩模版缺陷检测设备 11.2%

无图形晶圆缺陷检测设备 9.7% ★

图形晶圆缺陷检测设备 6.3% ★ ★ ★

电子束缺陷检测设备 5.8% ★

电子束缺陷复查设备 5.0% ★

关键尺寸量测设备（OCD） 10.2% △ ★ ★

电子束关键尺寸测量设备（CD-SEM） 8.1% ★ ★

掩模版关键尺寸量测设备 1.3%

套刻精度量测设备 7.3% ★

晶圆介质薄膜量测设备 3.0% ★ ★ ★

晶圆金属薄膜量测设备 0.5% ☆ ★ ★

X光量测设备 2.2%

三维形貌量测设备 0.9% ★

其他 3.8%

表21：半导体量检测设备国产厂商产品布局矩阵

注：已量产★；产业化验证☆；在研△

资料来源：各公司官网，安信证券研究中心

5.1.中科飞测：布局无图形/图形缺陷检测/膜厚/三维形貌测量，SAM比例27.2%

中科飞测成立于2014年，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售，产品主要包括无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。