全球半导体静电卡盘市场规模

静电卡盘是一种在陶瓷材料内部配置金属电极，并通过一体化熔结形成的产品。在晶圆制造过程中，静电卡盘起到超洁净晶圆片承载的作用，它利用静电吸附原理对晶圆片进行真空均匀夹持，可以使晶圆保持较好的平坦度，并调节晶圆表面的温度。静电卡盘是刻蚀、薄膜沉积、离子注入等半导体设备的核心零部件。

根据QYR Research数据，2022年全球半导体静电卡盘市场规模约13.7亿美元，预计到2029年这一数值将增长到20.8亿美元，期间CAGR约6.1%。目前在全球半导体静电卡盘市场中，海外企业Shinko、TOTO、Kyocera等占据主要份额。

中国大陆半导体静电卡盘尚处于起步阶段。中瓷电子是国内陶瓷材料技术龙头，并在半导体静电卡盘领域取得突破性进展。中瓷电子采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷材料精密加工后的静电卡盘具有高强度、耐腐蚀、高精度的优异性能，已经通过客户认证，并批量化应用在国产半导体设备中。

2022年，中瓷电子的静电卡盘业务初步实现800万营业收入，实现了“从0到1”的进步。我们认为随着半导体设备零部件国产化率的进一步提升，中瓷电子的静电卡盘业务有望进一步加速成长。