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石英坩埚在单晶产业链中的位置

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石英坩埚在单晶产业链中的位置
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© 2026 万闻数据
数据来源:德邦研究所,欧晶科技招股说明书
最近更新: 2023-03-19
补充说明:1、E表示预测数据;2、*表示估计数据;

数据描述

石英坩埚多为半透明状,由多层结构复合而成。外层是高气泡密度的区域,内层是一层3-5mm的透明层,一般称为气泡空乏层。气泡空乏层的存在使坩埚与溶液接触区的密度降低,从而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。坩埚最内层是指透明层中最靠近内表面1-2mm的部分,坩埚对硅液起作用的机理可以总结如下:由于与硅液接触的内表面不断向硅液中熔解,并且伴随着透明层中的微气泡不断长大,靠近最内表面的气泡破裂,伴随着硅液释放石英微颗粒以及微气泡。

而这些杂质会以微颗粒以及微气泡的形式伴随着硅液流遍整个硅熔体,直接影响到硅的成晶(整棒率、成晶率、加热时间、直接加工成本等)以及单晶硅的质量(穿孔片、黑芯片等)。

石英坩埚有多种分类方式,按用途可分为太阳能级石英坩埚、半导体级石英坩埚;按内层石英砂种类可分为合成石英砂坩埚和天然石英坩埚;按坩埚直径可分为32英寸、36英寸等规格。