材料作为影响光学器件发展历史中重要的因素之一,发挥着关键的推动作用。不同材料对于光的作用也不一样,包括对光的吸收、折射、反射,以及激发辐射产生光。我们从硅、III-V族以及铌酸锂这三大主要半导体材料,对光器件的发展历史进行梳理和展望。
硅光子技术是以硅或硅基材料(Si,SiO2,SiGe)作为衬底材料,利用与集成电路兼容的CMOS工艺制造对应的光子器件和光电器件,以实现对光的激发,调制,响应等,广泛应用于光通信,光传感,高性能计算等。