靶材产业链

PVD是一种工业制造的工艺，主要利用物理技术来沉积薄膜。PVD技术多用在各种需要薄膜材料的机械，光学以及电子器件，主要分为真空溅射、真空蒸镀和离子束辅助沉积。其中真空蒸镀主要通过热蒸发或使用电子束、激光加热材料使其升华，接触衬底表面后冷却形成薄膜。真空溅射通过高压电场产生高能离子流，高能离子轰击靶阴极产生原材料分子或原子，使原材料附着在目标衬底上。在真空溅射的基础上，通过外加磁场和电场，大幅改善溅射的效率和原子密度，目前已广泛应用。

位处产业链中游，靶材是PVD镀膜关键耗材。靶材产业链可分为原料提纯，靶材制造，镀膜以及应用。金属/非金属原材料经过开采，提纯，形成高纯金属/非金属单质。蒸镀靶材通常为块状，需要对高纯金属粉末进行进一步冶炼、加工、定型。溅射靶材的制造工艺则更加复杂，除了对于金属粉末的冶炼提纯外，还需要进行特定形状的轧制，与溅射背板绑定等过程。