2020年全球光掩模版市场格局z

电子特气是集成电路、面板等电子工业生产不可或缺的原材料，广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、面板等产品制造的“粮食”和“源”。电子特气决定了器件的最终良率和可靠性，具有较高的产品附加值。

电子特气种类丰富，客户在生产过程中对气体产品也存在多样化需求，不同工艺环节会用到不同气体种类，而同一工艺根据具体要求不同也会用到多种气体，因此IC制造中硅片制造、氧化、光刻、气相沉积、蚀刻、离子注入等工艺环节需要的特种气体种类就超过50种。