2018-2021年中科飞测国内市占率快速提升

以中科飞测为代表的国内竞争者市占率持续提升。2018-2021年，中科飞测国内市占率由0.4%提升至1.7%，产品市场认可度逐渐增加。

（二）产品线：本土企业产品覆盖日趋健全，核心产品已获市场认可1.海外公司在各产品线深度和广度占据优势地位

科磊半导体对于量测+检测产品线覆盖率达85.3%，且几乎在每一个所涉产品线中均位列头位；应用材料、创新科技等公司产品覆盖率分别为49.0%、37.0%，并在电子束缺陷复检等细分领域占据优势。

目前中科飞测、东方晶源、上海微电子、上海睿励批量销售产品所能覆盖的产品份额分别为19.9%、13.8%、16.0%、3.5%，与此同时，各企业纷纷进行品类拓展，若包含在验证及小批量出货产品，中科飞测、上海睿励的产品份额覆盖率将达37.9%、29.7%，具体表现为：

（1）中科飞测：①核心产品：无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、晶圆介质薄膜量测设备已实现批量销售，构成公司营收主体。②拓展产品：量测、检测产品向纳米图形晶圆缺陷检测、套刻精度量测、关键尺寸量测、晶圆金属薄膜量测设备领域拓展，目前，除纳米图形晶圆缺陷检测设备尚处于设计阶段外，其余三类产品已处于产业化验证阶段，其中套刻精度量测设备（型号十七）已取得两家客户的订单。产品覆盖度由19.9%预计提升18.0pct至37.9%。

（2）上海睿励：①核心产品：TFX4000系列薄膜厚度量测设备，应用于12英寸大规模集成电路前端、化合物半导体生产线，可量测透明或半透明介质材料、金属硅化物等半导体材料薄膜。②拓展产品：WSD200、300等系列外观缺陷检测设备，应用于8寸及12寸图形或无图形晶圆检测；TFX3000 OCD等系列产品，除具有300mm全自动光学膜厚测量能力外，还可以进行关键尺寸量测。产品覆盖度由3.5%预计提升26.2pct至29.7%。