2020 年全球半导体工艺检测设备市场竞争格局

量测设备细分品类较多。根据VLSI Research的统计，2020年半导体检测和量测设备市场各类设备占比中，检测设备包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备（可细分为微米级和纳米级）、掩膜检测设备等；量测设备包括三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）、套刻精度量测设备、关键尺寸量测设备、掩膜量测设备等。

全球半导体检测和量测设备市场呈现国外设备企业垄断的格局。全球范围内主要检测和量测设备企业包括科磊半导体、应用材料、日立等。科磊半导体一家独大，根据VLSI Research的统计，其在2020年全球检测与量测设备的合计市场份额占比为50.8%。2020年，全球前五大公司合计市场份额占比超过了82.4%，均来自美国和日本，市场集中度较高。

量检测设备国产化率很低，未来有较大国产化空间。目前国内主要的量检测设备公司包括：中科飞测、上海精测、上海睿励等，而这些公司的合计营收体量占中国大陆半导体检测和量测设备市场的份额较小，但呈现快速增长趋势。根据我们的测算，2021年，上述三家国产量检测公司的半导体设备营收为5.13亿元，占中国大陆的市场份额为2.7%，显示量检测设备目前的国产化率很低，而未来的潜在国产化空间较大。