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2021 年全球光刻机市场份额
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数据来源：中商产业研究院,中信证券研究部
最近更新： 2023-01-31
补充说明：1、E表示预测数据；2、*表示估计数据；
数据描述
ASML对比尼康在设计合理度、生产速度、良品率上领先。国产产品在套刻精度和生产效率上与国外同级别产品存在差距。尼康正致力于在中高端光刻机领域缩小与ASML的差距，在浸没式DUV领域，尼康的NSR-S631E/ NSR-S621D分别对标ASML的NXT2000i/NXT1950i，在干式DUV领域，尼康的NSR-S322F对标ASML的XT1460K，在KrF领域，尼康的NSR-S21OD对标ASML的XT860K，综合来看，尼康产品在套刻精度的纸面数据达到甚至超过ASML的标称水平，但在生产效率上尚存在差距，同时在设计合理度、良品率上亦落后于ASML。在低阶KrF领域，国产成熟光刻机产品主要在套刻精度和生产效率上与海外同级别产品存在明显差距。