全球电子特气市场规模（亿美元）

我国电子特气市场快速增长，国产替代有序推进。随着半导体、平面显示产业链的转移，国内电子气体市场快速增长，2020年我国电子特气市场规模173.6亿美元，近五年CAGR达15%，增速远高于全球市场。近几年国内公司在特气品类和规模方面持续拓展，我国集成电路类特气最先切入刻蚀领域，如三氟化氮、六氟化硫等，后续通过技术升级和下游验证向光刻类和沉积类气体推进，代表性的国内企业有雅克科技、昊华科技、中船重工七一八所、华特气体、金宏气体、南大光电等。