2022 年不同机型光刻机市场格局

中国内地占ASML销售额14%，上海微电子实现光刻机技术突破。2019年以来，ASML对中国内地销售额呈现持续增长态势，2022年中国内地销售额占比达14%。上海微电子光刻机技术在国内领先，目前已可量产 90nm 分辨率的ArF光刻机， 28nm 分辨率的光刻机也有望取得突破。