【汉钟精机】2021 年公司在电池片真空泵市占率约 26%

真空泵为半导体设备核心零部件之一，公司真空泵可满足半导体清洁制程与严苛制程。干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁严苛的制程。公司的半导体真空泵以螺杆泵、罗茨泵为主，已推出PMF、iPM、iPH三个系列，分别适用于清洁、半严苛和严苛制程，能够满足半导体先进工艺要求。