
巨化股份较早即布局湿电子化学品和电子特种气体等业务,原子公司凯圣氟化学(现为中巨芯的子公司)于2009年已开始生产和销售光伏级电子氢氟酸产品,此后电子级氨水/氟化铵/刻蚀液等产品线布局持续完善,同时延伸电子气体和前驱体材料等业务。为推进电子化学材料业务发展,2017年巨化股份联合产业投资基金等共同设立中巨芯,巨化股份持有中巨芯35.1999%股权,目前中巨芯已报送招股书,拟于科创板上市。
据中巨芯招股书,其电子级氢氟酸/硫酸/硝酸/盐酸等主要产品均已达到12英寸集成电路制造用级别,电子特种气体方面,可实现6N纯度高纯氯气、高纯氯化氢的量产,其中高纯氯气能够满足12英寸晶圆制造, 28nm 及以下制程刻蚀工艺需求,前驱体材料(HCDS、BDEAS、TDMAT等产品)进入客户认证阶段。公司目前已与多家知名半导体企业、面板企业和光伏企业建立良好合作关系。