
硅片又称硅晶圆片,由纯度很高的结晶硅制成。通常是以硅为原材料,通过拉单晶制作成硅棒,然后切割成片状。与其他材料相比,结晶硅因为很少有自由电子产生,导电性极低,所以分子结构非常稳定,主要应用于化学、光伏、电子等领域。硅片尺寸越大,对设备和工艺的要求越高。硅片尺寸(以直径计算)主要有50mm(2英寸)、75mm(3英寸)、100mm(4英寸)、150mm(6英寸)、200mm(8英寸)与300mm(12英寸)等规格,未来可能会发展到450mm(18寸)。目前,全球市场主流硅片直径为200mm、300mm。