量/检测设备是前道国产化率最低的环节之一,2022年国产化率仍不足10%。1)中科飞测、上海精测、上海睿励三家企业2021年销售收入合计约为5.13亿元,对应市场份额不足3%。2)若以批量公开招标的华虹无锡和积塔半导体为统计标本,2022年1-10月份2家晶圆厂合计完成量/检测设备招标60台,国产设备中标5台,对应国产化率仅为8%,远低于去胶机、刻蚀设备、薄膜沉积设备等环节。