全球工业气体市场规模（亿元）

我国工业气体行业近几年处于高速发展阶段。工业气体市场规模由2017年的1,211亿元增长至2021年的1,798亿元，2017-2021年的年均复合增长率达到10%以上。钢铁、石油化工、新材料、新能源、高端装备制造等下游行业需求的稳步增长推动我国大宗气体市场规模由2017年的1,036亿元增长至2021年的1,456亿元，2017年至2021年的年均复合增长率为8.89%；随着集成电路、液晶面板、光伏等泛半导体产业的快速发展，我国特种气体市场规模由2017年的175亿元增长至2021年的342亿元，2017年至2021年的年均复合增长率达18.23%。

近年来，随着电子工业的快速发展，电子气体在半导体行业中的地位日益凸显。广义的“电子气体”指电子工业生产中使用的气体，为重要的工业生产原材料之一。狭义的“电子气体”特指半导体行业所使用的特种气体。根据《战略性新兴产业分类（2018）》，电子气体可分为电子特种气体和电子大宗气体，是集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片。

电子特种气体(Special Gas)是用于生产半导体、显示面板、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊高纯气体。在生产工艺方面，电子特气参与到离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等流程中；下游应用方面，电子特气涵盖半导体、化工、医疗、环保和高端装备制造等领域。电子大宗气体（Bulk Gas）是满足半导体制造要求的高纯度和超高纯度气体，主要包括氢气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等。电子大宗气体在半导体制造过程中用量大且覆盖85%以上的环节，可被用作环境气、保护气，载气。拥有大规模用气需求的制造工厂通常与气体供应商合作建设大宗气体气站，气体供应商可通过现场制气装置制取电子大宗气体并通过管道供应，制取过程中电力成本占80%，主要原材料为空气。