半导体零部件分类及产业链地位

第二，从资本维度支持半导体设备发展。随着2019年科创板成立，半导体设备龙头企业纷纷登陆A股资本市场，资本金得到补充，研发投入到新产品开发的力度得到加强，产能扩张跟上了半导体设备企业重复批量订单的增长节奏。根据我们统计，2016年至今（截至2022年10月15日），各家半导体设备和零部件企业的IPO叠加定增募集资金累计300多亿元。A股资本市场不仅填补了资本金，而且提供了更灵活的员工股权激励机制。

第三，加大对半导体零部件的培育。半导体零部件，是半导体设备的主要组成部分，也是半导体设备主要的成本构成部分。根据富创精密招股说明书，半导体零部件包括工艺零部件、结构零部件、气体输送系统IGS、真空系统、电气零部件、仪器仪表等等。

参考各家半导体设备公司招股说明书，半导体真空设备的零部件还较大程度依赖于日美零部件厂商，半导体湿法设备和测试设备的零部件较大幅度本土化。以上市公司为例，国内半导体零部件企业覆盖了金属零部件、陶瓷零部件、硅零部件、石英零部件、真空泵、真空阀门和管道、IGS零部件、RF电源、精密运动控制系统等，且国内半导体零部件企业已拥有众多国内半导体设备客户或本土晶圆厂客户。

继续看好半导体设备的国产化。参考8家半导体设备企业（北方华创、中微公司、长川科技、拓荆科技、华海清科、芯源微、盛美上海、华峰测控）第二季度总收入，2022年第二季度国内半导体设备行业市场规模创历史新高，单季度收入超过70亿元，同比增长64%。从Wind一致预期看，这8家半导体设备企业总收入2022年全年将达到299亿元，同比增长56%。

参考2022年上半年收入，拓荆科技、华海清科、中科飞测、万业企业子公司凯世通、盛美上海、长川科技等增速最快，而北方华创、中微公司、芯源微、华峰测控等收入同比增速也都超过40%。