
MEMS是最先进的机械技术与最先进的微电子技术的结晶,下游应用广泛。MEMS(Micro Electro Mechanical System)即微电子机械系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿技术领域。MEMS系统通过将微传感器、微执行器、微电源、控制电路、高性能电子集成器件等子系统集成在一个微米甚至纳米级的器件上,从而达到电子产品的微型化、智能化、低成本、低能耗、易于集成和高可靠性。目前,MEMS已广泛应用于医疗、汽车、通信、国防、物联网、智能设备、航天航空等高新技术产业,成为一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。