MEMS产品通常可分为MEMS执行器和MEMS传感器。MEMS执行器是一种实现机械运动或者产生力和扭矩等行为的器件,主要负责接收由传感器送来的电信号并将其转化为微动作或微操作;MEMS传感器是一种检测装置,能够将感受到的信息按一定规律变换成电信号或其他形式的信息输出,以满足系统对信息传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。MEMS产品中,传感器的市场占比约为70%左右。