2020Q4及2021Q1设备收入、利润快速增长,国产替代持续深化。设备行业核心公司(中微公司、北方华创、至纯科技、精测电子、长川科技、晶盛机电、华峰测控、万业企业、芯源微,由于万业企业当前报表主营收入主要非半导体业务,此处计算刨除)2021Q3营业收入67亿元,同比增长55%;归母净利润13亿元,同比增长63%。设备行业持续处于高速增长,国产替代空间快速打开,国内核心设备公司成长可期。2021Q3研发费用合计6.8亿元,研发费用率约10%。