2020 年全球半导体晶圆制造光刻机份额占比

全球前道制造光刻机市场规模超130亿美元，市场份额异常集中，ASML市占率一枝独秀。根据Gartner数据，2020年全球前道光刻机市场规模为135.4亿亿美元，较2019年增长15.6%，其中包括最先进的EUV光刻机在内的步进式光刻机（stepper）占95%市场份额。2020年ASML、尼康和佳能垄断全球前道光刻机市场，其中AMSL以88.8%市场份额绝对领先。其他光刻机厂商如应用材料、SuSS、Veeco产品主要应用于后道封装、光罩制造等领域。

从出货机型分析，ASML几乎垄断高端光刻机，市场份额有望继续巩固。从光刻机出货量来看，根据芯思想研究院数据，2020年ASML、Nikon、Cannon分别出货258、31、122台光刻机，ASML是唯一EUV光刻机提供商以及占据86%浸润式ArF光刻机和67%干法ArF光刻机，牢牢掌控全球高端光刻机市场。