2019-2020 年全球晶圆前道制造离子注入机市场规模

集成电路领域离子注入机包括三种机型：大束流离子注入机、中束流离子注入机和高能离子注入机。根据Gartner数据，2020年全球前道晶圆制造离子注入机市场规模为16.5亿美元，其中大束流离子注入机、中束流离子注入机和高能离子注入机分别占据43%、28%、27%市场份额。

美日企业垄断晶圆前道制造离子注入机市场。根据Gartner数据，2020年美国的应用材料、亚舍立（Axcelis）以及日本的住友重工旗下离子科技（SMIT，Sumitomo Heavy Ion Technology）、日新（Nissin）和日本真空（Ulvac）分别占据全球55%、22.3%、17.8%、3.6%和1.3%市场份额。其他行业参与者有中国台湾汉辰科技旗下AIBT以及中国大陆凯世通和中科信。