半导体真空泵市场规模测算（2021-2025E）

我们测算2022-2024年中国大陆+中国台湾半导体真空泵市场规模为76/86/97亿元，2022年国产化率约6%。由于半导体零部件要求较高，内资半导体真空泵厂商仅为中科仪、汉钟精机两家龙头有一定出货量，其余市场基本为Edwards、Pfeiffer等外资龙头主导。按中科仪、汉钟精机半导体真空泵板块收入测算，2022年两家龙头国内份额合计约6%，即国内半导体真空泵国产化率仅6%，进口替代空间广阔。公司半导体真空泵已逐步导入主流半导体晶圆厂和设备商，随着产品稳定性成熟及产能提升，有望充分受益于半导体零部件国产化。