2019 年全球 CVD、ALD 设备厂商市场份额

薄膜沉积设备行业目前被海外厂商垄断。2019年，在CVD市场中，应用材料（AMAT）全球占比约为30%，泛林半导体（Lam）占21%，东京电子（TEL）占19%，三大厂商占据了全球70%的市场份额；ALD设备中，TEL和ASMI分别占据了31%和29%的市场份额。根据TEL的数据，2021年，其CVD全球份额为44%，ALD全球份额为29%，显示国际龙头目前在薄膜沉积设备行业份额仍较高。

国产薄膜沉积设备公司各有分工，拓荆瞄准高门槛的PECVD和ALD。对比国内从事半导体薄膜沉积设备的公司来看，拓荆科技是目前领先实现集成电路用PECVD产业化应用的公司。在LPCVD上，由于技术门槛相对PECVD较低，目前国内有北方华创、盛美都已有产品，而中微在研发中。ALD主要分为PEALD和ThermalALD，而目前拓荆和北方华创分别都有产业化应用。

拓荆科技PECVD产品在多家晶圆厂中标，实现份额快速提升。我们选取了国内部分主流晶圆厂作为样本，分析其薄膜沉积设备的招标以及中标厂商情况。