2020 年全球球晶圆前道制造离子注入机市场份额

应用材料作为全球最大离子注入机供应商，产品组合涵盖业内常见的四类注入系统：其中的三类属于视线离子束流系统：高电流（用于低能量和/或高剂量应用）；中电流（用于较低剂量）；高能量（用于非常深的注入）。第四类系统利用等离子掺杂，用于要求极高剂量的应用，或对无法通过视线束线系统到达的区域进行共形掺杂（例如，三维鳍式场效晶体管中的侧壁掺杂），这些系统可提供卓越的波束角控制、剂量控制、均匀度和晶圆间重复性。根据Gartner数据，应用材料在全球中束流、高束流和极高剂量离子注入机占据58.5%、83.2%和100%的市场份额。

万业企业子公司凯世通为国产离子注入机研发和产业化的龙头企业。凯世通于2009年4月由陈炯博士为首的五位国际知名离子注入设备专家创立，是一家以离子束技术为核心的集科研、制造于一体的高科技企业，主要研制、生产、再制造和销售高端离子注入机，重点应用于光伏太阳能电池，新型平板显示，和半导体集成电路领域，其中低能大束流和高能离子注入机是公司在半导体制造领域主攻方向。